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普达特科技（00650）发布公告，公司已成功向客户交付一台12英寸高温硫酸清洗设备。该设备广泛应用于28/14/7nm等先进制程的关键清洗工艺，市场目前主要由海外设备供应商垄断。公司研发的该设备，经过前期测试验证，在技术性能方面均达到对标海外设备，且具备国内领先、国际一流的高温控制能力，可覆盖至190℃的高温硫酸清洗工艺。同时，该设备具备集成化与兼容性设计，并采用灵活的应用配置，可为客户提供更具综合竞争力的解决方案。
此外，公司近期已成功向4家客户交付5台单片晶圆清洗设备，包括：向一家12英寸晶圆代工厂客户，成功交付一台OCTOPUS设备，用于28nm制程的关键清洗道次；向一家12英寸高性能模拟与功率器件客户，成功交付一台OCTOPUS设备与一台CUBE设备等。上述成功交付的订单中，有两台设备订单为来自现有客户的重复订单。公司亦获得一台OCTOPUS设备重复订单，该设备即将进行交付。上述订单的收入均暂未确认。
未来，公司将继续致力于完成该等半导体清洗设备的订单交付与验收，并充分发挥公司技术团队在半导体湿法技术方面的优势，继续扩大高质量半导体客户在关键应用领域对公司设备的采用。
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责任编辑：卢昱君
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